ISO 14644-1:2015 洁净室等级分类解读

洁净室等级划分

ISO 14644-1按照空气中悬浮粒子浓度将洁净室分为ISO 1级至ISO 9级。

| ISO等级 | ≥0.5μm粒子（个/m³） | ≥5.0μm粒子（个/m³） | 典型应用 |

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| ISO 5级 | 3,520 | 29 | 制药A/B级、半导体光刻 |

| ISO 6级 | 35,200 | 293 | 半导体扩散区 |

| ISO 7级 | 352,000 | 2,930 | 制药C级、医疗器械 |

| ISO 8级 | 3,520,000 | 29,300 | 制药D级、食品/化妆品 |

采样规则

- 最少采样点数 = √房间面积（m²）

- 每点最少采样量：ISO 5级≥8.5L，ISO 7级≥2.83L，ISO 8级≥2.83L

判定方法

95%置信上限法计算，每个采样点的平均粒子浓度不能超过等级限值。

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